813-5變容式MEMS加速度傳感器是一款用(yòng)來測量靜态加速度和低頻振動的高靈敏 度變容式加速度傳感器，其特點是采用(yòng)變容式MEMS矽晶片為(wèi)敏 感元件，該敏感元件由一個很(hěn)小(xiǎo)的慣性質(zhì)量塊和一個撓性元件 組成，該撓性元件位于兩塊極闆之間。随着質(zhì)量塊在加速度作(zuò) 用(yòng)下發生偏轉，這些極闆之間的電(diàn)容也會發生變化；包含了交 流激勵和同步調制解調電(diàn)路的加速度傳感器内部信号調節器輸 出與應用(yòng)加速度成正比的模拟輸出信号，單端信号輸出值為(wèi) 2.5±2V, 由單端穩壓電(diàn)源提供5.5~30Vdc的供電(diàn)。敏感元件和電(diàn) 路組件一起封裝(zhuāng)在小(xiǎo)型輕巧，線(xiàn)纜一體(tǐ)輸出的氧化鋁外殼中(zhōng)， 信号地與測試對象絕緣隔離。813-5變容式MEMS加速度傳感器的安(ān)裝(zhuāng)可(kě)以通過 粘合劑安(ān)裝(zhuāng)也可(kě)以用(yòng)M3的公(gōng)制螺絲安(ān)裝(zhuāng)。此産(chǎn)品廣泛應用(yòng)于需 要精(jīng)确測量的研發領域，同時産(chǎn)品封裝(zhuāng)也适合在嚴苛的環境中(zhōng) 使用(yòng)。