830-10氣密封裝(zhuāng)三軸靜态響應加速度傳感器是一款高精(jīng)度、低噪聲的三軸加速度傳感器，其可(kě)以同 步測量三個相互垂直軸向上的加速度和低頻振動。其特點是采用(yòng)了 變容式MEMS矽晶片為(wèi)敏感元件，該敏感元件由一個很(hěn)小(xiǎo)的慣性質(zhì) 量塊和一個撓性元件組成，該撓性元件位于兩塊極闆之間。随着質(zhì) 量塊在加速度作(zuò)用(yòng)下發生偏移，極闆之間的電(diàn)容也會發生變化；包 含了交流激勵和同步調制解調電(diàn)路的加速度傳感器内部信号調節 器，同時輸出與應用(yòng)加速度成比例的模拟電(diàn)壓信号，單端信号輸出 值為(wèi)2.5V±2V, 由單端穩壓電(diàn)源提供8到36Vdc的供電(diàn)。此産(chǎn)品在操 作(zuò)溫度範圍内配置溫度補償電(diàn)路以獲得更好的溫度響應特性。敏感 元件和電(diàn)子組件一起封裝(zhuāng)在小(xiǎo)型輕巧，焊接密封的不鏽鋼外殼中(zhōng)， 信号地與測試對象絕緣隔離。配套23-L連接線(xiàn)纜可(kě)供選用(yòng)。830-10氣密封裝(zhuāng)三軸靜态響應加速度傳感器的安(ān)裝(zhuāng)可(kě)以通過粘合劑安(ān)裝(zhuāng)也可(kě)以用(yòng)M3的公(gōng)制螺絲安(ān)裝(zhuāng)。 此産(chǎn)品廣泛應用(yòng)于需要精(jīng)确測量的研發項目，産(chǎn)品封裝(zhuāng)也适合在嚴 苛的環境使用(yòng)，性能(néng)長(cháng)期穩定。